配置说明:1。上海真空泵2台,4升,220伏。650瓦
2。北京涡轮分子泵,600瓦,220伏,抽速450升,极限真空-5帕
3。钢瓶气体,100兆帕压力
4。高真空电气动阀,自动化控制
5。自动充气,有电阻计,压敏计,电离计,温度计等进行指示监测
6。有油表指示充气量